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自動で製品を置く/取るシステムを搭載。検査可能な最小塵/ひっかき傷は0.5um。各レイヤーの『塵/ひっかき傷』の欠陥しか検出しない。
自力開発のソフトウェアで操作が簡単。検査可能項目が豊かで、アフターサービスも優秀。
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