ガラスマスク検査可能面積が大きい。小さな欠陥でも検出できる。オートフォーカス機能でピントが合わない悩みを解決。検出可能な最小欠陥は3um。
応用
光学撮影システムを通し、フィルムにある各種の欠陥をすぐに見ることができる。フィルムの不良によるロスを下げ、製品の品質を向上させる。オートフォーカス機能搭載、ガラスマスクが変形してピントが合わないことを克服。
検査速度：
< 10 min 0.84 µm/pixel
(検査範囲：500 x 400mm)
検査能力：
- 最小線幅/距離：8.5 µm
- 検出可能な最小欠陥：3 µm
- カメラ固定倍率：0.84 um/pixel
検査モード：二種類のモードを同時に使用可能、スキャン時間に影響を与えない。
DRCロジック比較：
- AIで人の目で検査することをシミュレーションする。
- 操作が簡単で、外部データ不要。
- 検査可能な欠陥としては、規則性のない断裂/接続や、ピンホールや、汚れや、不規則的な凹凸や、線幅/距離不足などが含まれている。
データ比較：
- リアルタイムでデータ比較：スキャン画像を基準画像データと照らし合わせ、相違点を見つけ、図形の位置ずれや、図形漏れや、図形過多などの欠陥を検出することができる。例えば：PAD位置ずれ、PAD過多/過少など。
- ネット比較：変更前後の画像データのネットを照らし合わせる。図形の変形は検出しない。四種類の欠陥しか検出しない：断路、短絡、縁辺の閉じた図形の減少や増加。
- Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF対応。
即時オートフォーカス：
検査中にレーザーを通じてステージの高さの変化を探知し、ステージを迅速に正しい位置に動かし、撮影とフォーカスを行う。
調整可能な可動式フレーム：
簡単なパラメータ設定：
自動核心パラメータ、ほこりを無視、空白エリアを無視、検査不要モデルなど。
リアルタイム画面：
パラメータや画像が変更されると、ソフトウェアは欠陥の表示枠を更新し、リアルタイムで新しいパラメータ設定を反応した欠陥検出結果を画面に表示する。
Review on Fly：
- スキャンの待ち時間は不要。すぐに欠陥再検査を行える。
- 検査開始から再検査までの待ち時間は0秒。
- 欠陥画像を複数枚同時に閲覧することができ、再検査時間を短くできる。
測量機能：
線幅、線距離、円形、矩形、斜め矩形、中心点距離、物体間隔距離、長距離測量。
リアルタイムで多国語に切り替える：
言語の切り替えにはソフトウェアの再起動は不要。多国語での作業が可能。（繫体中国語、簡体中国語、英語、日本語）
コンピューターバックアップシステム：
ダブルハードディスク/ダブルオペレーティングシステム。システムの異常を迅速に解決し、リアルタイムでハードディスク/オペレーティングシステムを切り替え、検査機を止めることが不要。
