フィルム/ガラスマスク検査機

ガラスマスク検査可能面積が大きい。小さな欠陥でも検出できる。
オートフォーカス機能でピントが合わない悩みを解決。
解像度が高く、検査機能が完備。検出可能な最小欠陥は2um。

ガラスマスク検査可能面積が大きい。小さな欠陥でも検出できる。オートフォーカス機能でピントが合わない悩みを解決。解像度が高く、検査機能が完備。検出可能な最小欠陥は2um。

光学撮影システムを通し、フィルムにある各種の欠陥をすぐに見ることができる。フィルムの不良によるロスを下げ、製品の品質を向上させる。オートフォーカス機能搭載、ガラスマスクが変形してピントが合わないことを克服。

機能紹介

検査速度：

< 17 min 0.63 µm/pixel (検査範囲：500 x 400mm) 検査能力：

検査モード：二種類のモードを同時に使用可能、スキャン時間に影響を与えない。
　DRCロジック比較：

　データ比較：

リアルタイムでデータ比較：スキャン画像を基準画像データと照らし合わせ、相違点を見つけ、図形の位置ずれや、図形漏れや、図形過多などの欠陥を検出することができる。例えば：PAD位置ずれ、PAD過多/過少など。
ネット比較：変更前後の画像データのネットを照らし合わせる。図形の変形は検出しない。四種類の欠陥しか検出しない：断路、短絡、縁辺の閉じた図形の減少や増加。
Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF対応。

即時オートフォーカス：

Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF対応。独立したワークステーションでデータ処理作業を行い、検査機のスキャン検査時間に影響を与えない。調整可能な可動式フレーム：

各サイズのガラスマスクに対応できる。簡単なパラメータ設定：

自動核心パラメータ、ほこりを無視、空白エリアを無視、検査不要モデルなど。リアルタイム画面：

パラメータや画像が変更されると、ソフトウェアは欠陥の表示枠を更新し、リアルタイムで新しいパラメータ設定を反応した欠陥検出結果を画面に表示する。 Review on Fly：

測量機能：

線幅、線距離、円形、矩形、斜め矩形、中心点距離、物体間隔距離、長距離測量。リアルタイムで多国語に切り替える：

言語の切り替えにはソフトウェアの再起動は不要。多国語での作業が可能。（繫体中国語、簡体中国語、英語、日本語）コンピューターバックアップシステム：

ダブルハードディスク/ダブルオペレーティングシステム。システムの異常を迅速に解決し、リアルタイムでハードディスク/オペレーティングシステムを切り替え、検査機を止めることが不要。