人の目で検査することをシミュレーションし、フィルム/ガラスマスクに、通常のデザインと相違するところがあると、欠陥としてを検出されます。検出可能な欠陥は以下のようになります：ピンホール、ひっかき傷、毛、汚れ、突出、凹み、短絡、断路など。パラメータで検出する欠陥を絞り込み、効率を上げることができます。また、他の比較データがなくでも、欠陥をスキャンできます。
操作が簡単で、開始点と終了点を設定さえすれば、スキャンが行えます。
AIで現在最適なスキャン核心パラメータを算出することができます。そして、パラメータの調整はリアルタイムで反応可能です。
回路エリア以外の重要ではない汚れを無視させることができます。
ほこりの透明度により設定すれば、透明度の高い汚れを無視させることができます。
回路デザインでの尖った角や他の検出不要欠陥は、検査不要モデルを設定することで濾過できます。
リアルタイム映像を基準データと照らし合わせ、図形の増減や、位置ずれや、サイズ変化を探知することができます。DRCロジック比較も同時に行うことができ、再度のスキャンの手間を省けます。
図形の増減と、位置ずれと、サイズ変化などの欠陥を検出することができます。
回路辺縁の突起や凹みなどの欠陥を検出する機能がより上昇します。
