タイプ | MVS 4 | MVS 6 |
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検査対象 | メタルマスク | |
最適孔径 | 80 um 以上 | 30 um 以上 |
検査可能な最小欠陥 | 12 um | 5 um |
画素解像度 (um/pixel) | 4.0~6.6 | 1.5~5.5 |
検査可能な最大検査対象W x D x H(mm) | 750 x 750 x 30 | |
検査可能な最大面積(mm*mm) | 880 x 700 | |
DRC検査 | ||
リアルタイムデータ比較とネット比較 | 選択配置 | |
Review on Fly | ||
データ処理ワークステーション | 選択配置 | |
測量機能 単独画面精度 長距離精度 |
円形、線幅、線距離、矩形、回転矩形、中心点距離、物体間隔、長距離 ±1 pixel ±15um@600mm |
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リアルタイムで言語切り替え | 繫体中国語、英語、簡体中国語、日本語 | |
検査範囲 (mm) スキャン時間 再検査待ち時間 |
500 x 400 < 90 sec @ 5.0 um/pix 0 sec |
500 x 400 < 35 sec @ 5.0 um/pix 0 sec |
サイズ(mm) | W 1450 x D 1650 x H 1600 | |
重量(kg) | 約1000 kg | |
必要電力 | 220V(50Hz/60Hz) 1 phase/ under 1KW(額定功率) with Ground Wire |