メタルマスク検査機


タイプ別規格比較



タイプ MVS 4 MVS 6
検査対象 メタルマスク
最適孔径 80 um  以上 30 um 以上
検査可能な最小欠陥 12 um 5 um
画素解像度 (um/pixel) 4.0~6.6 1.5~5.5
検査可能な最大検査対象W x D x H(mm) 750 x 750 x 30
検査可能な最大面積(mm*mm) 880 x 700
DRC検査
リアルタイムデータ比較とネット比較 選択配置
Review on Fly
データ処理ワークステーション 選択配置
測量機能
単独画面精度
長距離精度
円形、線幅、線距離、矩形、回転矩形、中心点距離、物体間隔、長距離
 ±1 pixel
±15um@600mm
リアルタイムで言語切り替え 繫体中国語、英語、簡体中国語、日本語
検査範囲 (mm)
スキャン時間
再検査待ち時間
500 x 400
< 90 sec @ 5.0 um/pix
0 sec
500 x 400
< 35 sec @ 5.0 um/pix
0 sec
サイズ(mm) W 1450 x D 1650 x H 1600
重量(kg) 約1000 kg
必要電力 220V(50Hz/60Hz)  1 phase/ under 1KW(額定功率) with Ground Wire