Pellicle+Mask Inspection System


検査能力

Pellicle(光学薄膜) 検査可能項目

Pellicle(光学薄膜) 小さな汚れ
小さな汚れ

Pellicleの小さな汚れや塵

Pellicle(光学薄膜) 大きな汚れ
大きな汚れ

Pellicleの大きな汚れ

Pellicle(光学薄膜) ひっかき傷
ひっかき傷

Pellicleのひっかき傷

Pellicle(光学薄膜) 毛屑
毛屑

Pellicle上的毛屑掉落物

Pellicle(光学薄膜) 毛

Pellicleに落ちている毛

Pellicle(光学薄膜) 指紋
指紋

Pellicleレイヤーの指紋

Pellicle(光学薄膜) 指紋
指紋

Pellicleレイヤーの指紋




Pellicle(光学薄膜) TSL-PEL-DRC 検査機外観




Maskガラスマスク検出可能欠陥       TSL-PEL-REF

ピンホール
ピンホール

ガラスマスク図形のピンホール

汚れ
汚れ

ガラスマスクの汚れや塵

ひっかき傷
ひっかき傷

ガラスマスク図形のひっかき傷

毛

ガラスマスクに落ちている毛

欠損/突出
欠損/突出

ガラスマスク図形の欠損/突出

短絡/断路
短絡/断路

ガラスマスク図形の短絡/断路

図形サイズ改変
図形サイズ改変

ガラスマスク図形のサイズ改変

図形位置ずれ
図形位置ずれ

ガラスマスク図形の位置が変わった




Pellicle(光学薄膜) TSL-PEL-REF 検査機外観