本製品は、高精度の検査能力を有しております。Pellicle欠陥検査専用の照明を使用。最小0.5umの塵やひっかき傷を検出することが可能です。
図形の仕様が簡単でも複雑でも、様々な種類の図形を検知することができます。全面的に完備した検査能力を通じ、検査の確実性と完全性を保証します。
自動で製品を置く/取るシステムを使用することで、ガラスマスクを直接に触ることが避けられ、汚染と損傷のリスクを減らすことができます。これで、操作の効率も製品の品質も上がります。
ガラスマスクとPellicle(光学薄膜)の各レイヤーを詳しく検査することで、全てのレイヤーの品質を保証できます。
高効能な微粒子濾過装置搭載。（HEPA）99.97%の微粒子を濾過でき、清潔な環境を維持できます。汚染のリスクを減らすことで、品質の安定性を確保できます。
Pellicle欠陥検査のために設計したランプをもって、明るくて安定した照明で、検査結果の精確性と確実性を保証できます。
本製品は、検査機本体+開梱システム+自動で製品を置く/取るシステムを一つの機体に納めたデザインです。使用スペースの面積は、1350 x 2150 x 1800 mmだけです。工場の貴重なスペースを大幅に節約し、様々な環境においてフレキシブルに配置できます。
