光学撮影システムを通し、メタルマスクにある各種の欠陥をすぐに見ることができる。メタルマスクの不良によるロスを下げ、製品の品質を向上させる。倍率調整可能なカメラセットが搭載されており、検査対象の規格により調整できる。
30um以上の孔径が検査可能
メタルマスクの孔径により倍率を調整することができ、生産能力を向上させる。
例えば、ピンホールや、異物や、破けた穴や、孔径過大や、孔径過小や、穴間隔不足など。
穴ずれや、穴過多や、穴過少のような規則的な欠陥を検出することができる。
検査可能最大サイズは750mm x 750mm x 30mm
円形、線幅、線距離、矩形、回転矩形、中心点距離、物体間隔、長距離測量。
繫体中国語、英語、簡体中国語、日本語