フィルム/ガラスマスク検査機


TSL-FVT-DX6.0

応用

光学撮影システムを通し、フィルムにある各種の欠陥をすぐに見ることができる。フィルムの不良によるロスを下げ、製品の品質を向上させる。倍率調整可能なカメラセットが搭載されており、検査対象の規格により調整できる。

機能紹介

検査速度:
    < 35 sec 5 µm/pixel (検査範囲:500 x 400mm)
検査能力:
  • 最小線幅/距離:15 µm
  • 検出可能な最小欠陥:5 µm
  • 倍率調整可能なカメラ:1.5~5.5 um/pixel
検査モード (DRCロジック比較):
  • AIで人の目で検査することをシミュレーションする。
  • 操作が簡単で、外部データ不要。
  • 検査可能な欠陥としては、規則性のない断裂/接続や、ピンホールや、汚れや、不規則的な凹凸や、線幅/距離不足などが含まれている。
簡単なパラメータ設定:
    自動核心パラメータ、ほこりを無視、空白エリアを無視、検査不要モデルなど。
リアルタイム画面:
    パラメータや画像が変更されると、ソフトウェアは欠陥の表示枠を更新し、リアルタイムで新しいパラメータ設定を反応した欠陥検出結果を画面に表示する。
Review on Fly:
  • スキャンの待ち時間は不要。すぐに欠陥再検査を行える。
  • 検査開始から再検査までの待ち時間は0秒。
  • 欠陥画像を複数枚同時に閲覧することができ、再検査時間を短くできる。
測量機能:
    線幅、線距離、円形、矩形、斜め矩形、中心点距離、物体間隔距離、長距離測量。
リアルタイムで多国語に切り替える:
    言語の切り替えにはソフトウェアの再起動は不要。多国語での作業が可能。(繫体中国語、簡体中国語、英語、日本語)
コンピューターバックアップシステム:
    ダブルハードディスク/ダブルオペレーティングシステム。システムの異常を迅速に解決し、リアルタイムでハードディスク/オペレーティングシステムを切り替え、検査機を止めることが不要。
自動スタンプ機能:
    フィルム上の欠陥の位置をリアルタイムでマーキングする。