メタルマスク検査機の検査ロジックには二種類あります。一つは、データ不要のDRCロジック検査で、もう一つは、データが必要のデータ比較です。
各種の検査ロジックは、別々での使用でも、合わせての使用でも可能です。検査ロジックの選択は、検査の効率に影響を与えません。
ソフトウェアには欠陥を無視する機能もあり、重要ではない欠陥の検出を減らすことで、再検査時間を節約できます。
メタルマスク検査機の検査ロジックには二種類あります。一つは、データ不要のDRCロジック検査で、もう一つは、データ必要のデータ比較です。各種の検査ロジックは、別々でも、合わせての使用でも可能です。検査ロジックの選択は、検査の効率に影響を与えません。ソフトウェアには欠陥を無視する機能もあり、重要ではない欠陥の検出を減らすことで、再検査時間を節約できます。