メタルマスク検査機


検査能力

DRCロジック比較

人の思考をシミュレーションし、パラメータで検出したい欠陥を濾過することができます。

規則性のない欠陥が検出可能
数値がパラメータと一致しない欠陥:孔径のサイズが合わない、或いは孔の間隔が不足している。

データ比較

リアルタイム映像を基準パラメータと照らし合わせる

PAD/Lineの漏れや増加と、図形のずれやサイズ変化を中心とします。例えば、穴過多/穴過少や穴の位置ずれなど。
DRCロジック検査と同時に執行可能。