Pellicle+Mask Inspection System

检测能力

Pellicle(光学薄膜) 检测项目

Pellicle(光学薄膜) 小型污点

小型污点

Pellicle的小型污点或落尘

Pellicle(光学薄膜) 大型污点

大型污点

Pellicle的大型污点情况

Pellicle(光学薄膜) 刮伤

刮伤

Pellicle上的刮伤

Pellicle(光学薄膜) 毛屑

毛屑

Pellicle上的毛屑掉落物

Pellicle(光学薄膜) 毛屑

毛屑

Pellicle上的毛屑掉落物

Pellicle(光学薄膜) 指纹

指纹

Pellicle层的指纹

Pellicle(光学薄膜) 指纹

指纹

Pellicle层的指纹

Pellicle(光学薄膜) TSL-PEL-DRC 检查机外观预览

Mask光罩缺陷检测项目 TSL-PEL-REF

针孔

光罩图形上的针孔点

污点

光罩上的污点或落尘

刮伤

光罩图形上的刮伤

毛屑

光罩上的毛屑掉落物

缺口/凸出

缺口/凸出

光罩图形上的缺口/凸出

短断路

短断路

光罩图形上的短断路

图像大小改变

图像大小改变

光罩图像的大小变化

图像位移

图像位移

光罩图像上发生位移

Pellicle(光学薄膜) TSL-PEL-REF 检查机外观预览

总览 特色功能 检查能力 型号规格比较 可选购项目