底片/菲林片/光罩检查机


检测能力

DRC逻辑比对

模拟人眼检测,当底片/菲林片/光罩的影像违反设计惯例时,即被判定为缺点,可减缺点类型如下:针孔、刮伤、毛屑、污点、意外凸出、意外凹陷、短路、断路。可运用参数筛选需要的缺点,藉以提高工作效率。不需要提供额外的比对数据即可扫描缺点。

使用简便 < Easy to Use >

操作流程简易,仅需要设定起始和终点,即可进行扫描。

调整容易 < Easy to Control >

可由人工智能判断当前最适合的扫瞄核心参数,迅速找到最恰当的参数设定。配合所见及所得特性,调整参数实时可见。

忽略空旷区 < Ignore blank area >

可忽略线路区域之外的不重要污点。

忽略尘埃 < Dust sweeping >

根据灰尘的透明度做设定,可忽略透明度较高的污点。

忽略模型设定 < Skipped model verification >

检测线路设计上的尖角或是其他类型的假缺点,可使用忽略模型进行过滤。

数据比对

实时影像与标准数据比对,可检测遗漏或增加的图像、图像偏移及图像大小的改变;并可同时运作DRC逻辑比对,不需要重复扫描耗费额外的时间。

点阵式数据比对< Raster data reference >

检测图形增减、图形偏移、大小改变等缺陷。

向量式数据比对< Vector data reference >

加强线路边缘凸起或凹陷等缺点的检测能力。

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