模拟人眼检测,当底片/菲林片/光罩的影像违反设计惯例时,即被判定为缺点,可减缺点类型如下:针孔、刮伤、毛屑、污点、意外凸出、意外凹陷、短路、断路。可运用参数筛选需要的缺点,藉以提高工作效率。不需要提供额外的比对数据即可扫描缺点。
操作流程简易,仅需要设定起始和终点,即可进行扫描。
可由人工智能判断当前最适合的扫瞄核心参数,迅速找到最恰当的参数设定。配合所见及所得特性,调整参数实时可见。
可忽略线路区域之外的不重要污点。
根据灰尘的透明度做设定,可忽略透明度较高的污点。
检测线路设计上的尖角或是其他类型的假缺点,可使用忽略模型进行过滤。
实时影像与标准数据比对,可检测遗漏或增加的图像、图像偏移及图像大小的改变;并可同时运作DRC逻辑比对,不需要重复扫描耗费额外的时间。
检测图形增减、图形偏移、大小改变等缺陷。
加强线路边缘凸起或凹陷等缺点的检测能力。