底片/菲林片/光罩检查机

透过光学取像系统，快速检视底片/菲林片/光罩上的各种缺陷，降低因底片/菲林片/光罩不良而造成的报废和损失，以提升产品质量。具备可变倍率镜头组，可以针对不同规格的待测物进行调整，泛用性更高。

性能特点

检查速度：

< 35 sec 5 µm/pixel (检查范围：500 x 400mm) 检查能力：

检测模式：两种模式可以同时进行，不影响扫描时间
DRC逻辑比对：

数据比对：

简易的参数设定：

自动核心参数、移去尘埃、忽略空旷区、忽略模型…等。所见即所得：

当参数或影像改变时，软件会自动更新缺点框。让实时影像随时显示新参数的缺点判定结果。 Review on Fly：

量测功能：

线宽、线距、圆形、矩形、斜矩形、中心距、物间距、长距离量测。实时切换多国语言：

切换多国语言不需重开软件，适合多语言环境。(繁体中文、简体中文、英文、日文) 计算机备援系统：

双硬盘/双操作系统，快速解决系统异常，实时切换，机台不停滞。自动盖印功能：

实时标记缺陷位置于底片/菲林片。