检测参数可在实时的取像画面中，直接进行调整，各项参数皆能灵活运用，不须重复扫描即能找出适用参数。
机台同时具备复检系统，不需要将待测物移至复检站；复检画面就是扫描画面，减少漏检的风险。
具有线宽、线距、圆/方PAD、中心距、长距离等。提供使用者更良好的复检环境。
1. 无须任何等待扫描完毕的时间，即可进行缺点复检。
2. 从检测开始到等待复检时间等于0秒
3. 缺点预览模式，同时预览多张缺点，加快复检时间。
所有扫描完成的画面都会实时储存，也具备输出图文件的功能，支持各类型的输出图档。(JPG、BMP、PNG、TIFF、TZP)
软件接口包含繁体、简体、英文、日文，用户接口实时切换不用等待。
可将扫描的底片/菲林片数据产生gerber。