| 机型 | MVS 4 | MVS 6 |
|---|---|---|
| 待测物种类 | 钢版 | |
| 最适孔径 | 80 um 以上 | 30 um 以上 |
| 最小可检缺陷 | 12 um | 5 um |
| 像素分辨率 (um/pixel) | 4.0~6.6 | 1.5~5.5 |
| 最大待测物W x D x H(mm) | 750 x 750 x 30 | |
| 最大检测面积(mm*mm) | 880 x 700 | |
| DRC检测 | ||
| 实时数据比对与网络比对 | 选配 | |
| Review on Fly | ||
| 数据处理工作站 | 选配 | |
| 量测功能 单画面精度 长距离精度 |
圆型, 线宽, 线距, 矩形, 旋转矩形, 中心距, 物间距, 长距离 ±1 pixel ±15um@600mm |
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| 实时语言切换 | 繁体中文、英文、简体中文、日文 | |
| 检测范围 (mm) 扫描时间 等待复检时间 |
500 x 400 < 90 sec @ 5.0 um/pix 0 sec |
500 x 400 < 35 sec @ 5.0 um/pix 0 sec |
| 尺寸(mm) | W 1450 x D 1650 x H 1600 | |
| 重量(kg) | 约1000 kg | |
| 电力需求 | 220V(50Hz/60Hz) 1 phase/ under 750W（额定功率）1KW（最大功率） with Ground Wire | |