底片/菲林片/光罩检查机

透过光学取像系统，快速检视光罩上的各种缺陷，降低因光罩不良而造成的报废和损失，以提升产品质量。配备自动对焦系统，可以克服光罩变形所造成的离焦。

性能特点

检查速度：

< 17 min 0.63 µm/pixel (检查范围：500 x 400mm) 检查能力：

检测模式：两种模式可以同时进行，不影响扫描时间
DRC逻辑比对：

数据比对：

实时自动对焦：

支援Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF 配备独立工作站，来完成前置数据处理作业，不占用机台扫描检查时间。可调整式活动框架：

可应对各种不同尺寸的光罩改变。简易的参数设定：

自动核心参数、移去尘埃、忽略空旷区、忽略模型…等。所见即所得：

当参数或影像改变时，软件会自动更新缺点框。让实时影像随时显示新参数的缺点判定结果。 Review on Fly：

量测功能：

线宽、线距、圆形、矩形、斜矩形、中心距、物间距、长距离量测。实时切换多国语言：

切换多国语言不需重开软件，适合多语言环境。(繁体中文、简体中文、英文、日文) 计算机备援系统：

双硬盘/双操作系统，快速解决系统异常，实时切换，机台不停滞。