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Mask光罩缺陷检查机
TSL-SP7-LS 系列
大面积光罩检测，细小缺陷检出
最小可检0.75um缺点。。
大面积光罩检测，最细小缺陷检出；自动对焦系统，解决离焦困扰；最高规格分辨率。最小可检0.75um缺点。
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