大面积光罩检测，最细小缺陷检出；自动对焦系统，解决离焦困扰。最小可检3um缺点。
应用
透过光学取像系统，快速检视光罩上的各种缺陷，降低因光罩不良而造成的报废和损失，以提升产品质量。配备自动对焦系统，可以克服光罩变形所造成的离焦。
检查速度：
< 10 min 0.84 µm/pixel
(检查范围：500 x 400mm)
检查能力：
- 最小线宽/距：8.5 µm 以上
- 最小可检出缺陷：3 µm
- 固定倍率镜头：0.84 um/pixel
检测模式：两种模式可以同时进行，不影响扫描时间
DRC逻辑比对：
- 各式AI人工智能，仿真人眼检查逻辑
- 操作简单，不需外部数据
- 可检查不规则断裂/链接、针孔、污点、不规则凹凸、线宽/距不足…等缺陷。
数据比对：
- 实时数据比对：比较扫描影像与参考图文件的差异，可检出图像偏移、图像形变、遗漏或增加的图像等缺点。如：PAD偏移、多PAD或少PAD…等。
- 网络比对：比较编修前后图文件间的网络差异，不检图像的形变，只检以下四种缺点:断路、短路、减少或多出之封闭图像。
- 支援Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF
配备独立工作站，来完成前置数据处理作业，不占用机台扫描检查时间。
实时自动对焦：
检测过程中由激光回馈得知高度变化，微动平台快速定位并取像达成对焦。
可调整式活动框架：
简易的参数设定：
自动核心参数、移去尘埃、忽略空旷区、忽略模型…等。
所见即所得：
当参数或影像改变时，软件会自动更新缺点框。让实时影像随时显示新参数的缺点判定结果。
Review on Fly：
- 无须任何等待扫描完毕的时间，即可进行缺点复检
- 从检测开始到等待复检时间等于0秒
- 缺点预览模式，同时预览多张缺点，加快复检时间
量测功能：
线宽、线距、圆形、矩形、斜矩形、中心距、物间距、长距离量测。
实时切换多国语言：
切换多国语言不需重开软件，适合多语言环境。(繁体中文、简体中文、英文、日文)
计算机备援系统：
双硬盘/双操作系统，快速解决系统异常，实时切换，机台不停滞。
