本产品具备卓越的高精度检测能力，搭配专为Pellicle缺陷检测设计的专用灯源，能够检测到最小0.5um的灰尘和刮痕。
系统能够检测各种类型的图形，无论是简单还是复杂，均能提供全面的检测能力，保证检测的准确性和完整性。
自动化的进出料系统有效减少了人员对光罩的直接接触，降低了污染和损伤的风险，提升了操作效率和产品质量。
针对光罩及Pellicle(光学薄膜)的各个层别进行详细检测，确保每一层的质量都符合标准。
配备高效微粒空气过滤器（HEPA），能够过滤掉99.97%的微小颗粒物，提供洁净的操作环境，进一步减少污染风险，确保产品的稳定性。
专为Pellicle缺陷检测设计的灯源，提供稳定且高亮度的照明，确保检测结果的准确性和可靠性。
本产品主机+开盒系统+自动进出料系统整合设计，整体占地面积仅 1350 x 2150 x 1800 mm。这种紧凑的设计大幅度节省了工厂的宝贵空间，使其能更灵活地部署在不同的生产环境中。
