底片/菲林片与光罩检查起源印刷电路板的大量使用底片/菲林片与光罩,早期检测的方式是以”检查光桌”进行检查,所需要的人力物力需求过于庞大,而人工检测可能因为眼睛疲劳、人员疏忽等造成误判,进而使产品有缺陷或不能出货。 所以底片/菲林片光罩检测由人员检测演进到AOI底片/菲林片光罩检查机进行检测。
AOI之原理:以计算机程序为核心,镜头进行区域扫描受测物品,收集影像,将影像与程序中的参数进行比较,经图像处理,在计算机屏幕上将检测出的缺陷显示或自动标记缺点之显示,供后续人员进行确认或修整。自动光学检查机亦可将生产过程中所出现的缺陷类型加以收集,供制程人员进行缺点分析及改善。
AOI之优点: