| 機型 | TSL-PEL-DRC | TSL-PEL-REF |
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| 產品簡述 | 用於檢測Pellicle層的灰塵/刮傷 | 用於檢測Pellicle各層的灰塵/刮傷 可檢查光罩上圖案破損、針孔等 |
| 待測物種類 | Pellicle + Mask | |
| 可放置尺寸 | 12吋光罩盒 | |
| 檢測面積 | 300mm X 300mm/可客製化 | |
| 檢測時間 | < 15min (單層) | |
| 檢測模式 | DRC | DRC+REF |
| 可檢測區域 | pellicle 上 -A pellicle下 -B 光罩圖形上 -D 光罩背面 -C |
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| 檢測缺點類型 | 汙點/毛屑/刮痕/灰塵/破損/指紋 | |
| 資料比對功能 | ||
| 資料比對檢測項目 | Open/Short、針孔、汙點、刮傷 、圖像偏移、圖像尺寸錯誤等。 |
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| 光罩圖案檢查能力 | 適用最小線寬/距為2um以上， 最小檢測缺陷0.75um。 |
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| 資料比對工作站 | ||
| 可讀取格式 | RS274X、ODB++、GDSII、DXF | |
| DRC功能 | ||
| 自動化進料系統 | ||
| 可測最小灰塵 | 0.5um | |
| HEPA保護系統 | ||
| 即時自動對焦 | ||
| 電腦備援系統 | ||
| 大容量儲存空間 | ||
| 機台外型尺寸 | W1530 X D2150 X H 1800 | |
